Vakum anahtarı, belirli bir vakum seviyesi aralığını izlemek için tasarlanmış bir anahtar türüdür; aynı zamanda vakum rölesi olarak da bilinir. İşlevi, bir kontrol devresini otomatik olarak açmak veya kapatmak-ve aynı anda çalışma sırasında oluşturulan gerçek vakum seviyesi önceden belirlenmiş bir gereksinime ulaştığında bir elektrik sinyali- oluşturmak, böylece vakum adsorpsiyon mekanizmasına normal çalışmasını yürütmesi talimatını vermektir. Hem güvenilirlik hem de güvenlik açısından kritik bir bileşen olarak sınıflandırılmıştır.
Vakum anahtarları üç tipe ayrılır: mekanik, yarı iletken ve pnömatik köprü. Mekanik vakum anahtarları, mekanik yer değiştirmeyi (bunun bir örneği diyafram-tipi vakum anahtarıdır) kullanarak vakum basıncındaki değişiklikleri belirler. Yarı iletken vakum anahtarları ise tersine, vakum basıncındaki değişiklikleri tespit etmek için yarı iletken basınç sensörlerini kullanır ve tespit edilen basınç sinyallerini doğrudan elektrik sinyallerine dönüştürme kapasitesine sahiptir.